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GB/T1555-2009半導體單晶晶向測定方法

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檢測執(zhí)行標準信息一覽:

標準簡介:本標準規(guī)定了半導體單晶晶向X 射線衍射定向和光圖定向的方法。本標準適用于測定半導體單晶材料大致平行于低指數(shù)原子面的表面取向。

標準號:GB/T 1555-2009

標準名稱:半導體單晶晶向測定方法

英文名稱:Testing methods for determining the orientation of a semiconductor single crystal

標準類型:國家標準

標準性質(zhì):推薦性

標準狀態(tài):現(xiàn)行

發(fā)布日期:2009-10-30

實施日期:2010-06-01

中國標準分類號(CCS):冶金>>半金屬與半導體材料>>H80半金屬與半導體材料綜合

國際標準分類號(ICS):電氣工程>>29.045半導體材料

替代以下標準:替代GB/T 1555-1997

起草單位:峨嵋半導體材料廠

歸口單位:全國半導體設(shè)備和材料標準化技術(shù)委員會材料分技術(shù)委員會

發(fā)布單位:國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫.

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