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GB/T1557-2006硅晶體中間隙氧含量的紅外吸收測量方法

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檢測執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)信息一覽:

標(biāo)準(zhǔn)簡介:本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了采用紅外光譜法測定硅單晶中的間隙氧含量的方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于室外溫電阻率大于0.1Ω·cm的n型硅單晶和室溫電阻率大于0.5Ω·cm中間的p型硅單晶中間隙氧含量的測量。本標(biāo)準(zhǔn)測量氧含量的有效范圍從1×1016at·cm-3到硅中間隙氧的較大固熔度。

標(biāo)準(zhǔn)號:GB/T 1557-2006

標(biāo)準(zhǔn)名稱:硅晶體中間隙氧含量的紅外吸收測量方法

英文名稱:The method of determining interstitial oxygen content in silicon by infrared absorption

標(biāo)準(zhǔn)類型:國家標(biāo)準(zhǔn)

標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì):推薦性

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài):作廢

發(fā)布日期:2006-07-18

實施日期:2006-11-01

中國標(biāo)準(zhǔn)分類號(CCS):冶金>>金屬理化性能試驗方法>>H21金屬物理性能試驗方法

國際標(biāo)準(zhǔn)分類號(ICS):冶金>>金屬材料試驗>>77.040.30金屬材料化學(xué)分析

替代以下標(biāo)準(zhǔn):替代GB/T 14143-1993;GB/T 1557-1989;被GB/T 1557-2018代替

起草單位:峨眉半導(dǎo)體材料廠

歸口單位:全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會

發(fā)布單位:質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局.

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