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GB/T 36705-2018 氮化鎵襯底片載流子濃度的檢測(cè) 拉曼光譜法
Test method for carrier concentration of gallium nitride substrates—Raman spectrum method
標(biāo)準(zhǔn) 推薦性 現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)《氮化鎵襯底片載流子濃度的檢測(cè) 拉曼光譜法》由TC203(半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì))歸口上報(bào)，TC203SC2(半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)材料分會(huì))執(zhí)行，主管部門為標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)。
GB/T 36705-2018主要起草單位
中國(guó)科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所 、蘇州納維科技有限公司 、中關(guān)村天合寬禁帶半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟 、有色金屬技術(shù)經(jīng)濟(jì)研究院 、東莞市中鎵半導(dǎo)體科技有限公司 、中國(guó)電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院 。
GB/T 36705-2018主要起草人
鄭樹楠 、張育民 、石林 、邱永鑫 、王建峰 、徐科 、付雪濤 、楊素心 、丁曉民 、陸敏 、楊建 。
GB/T 36705-2018相近標(biāo)準(zhǔn)(計(jì)劃)
20151534-T-469 氮化鎵襯底片載流子濃度的檢測(cè) 拉曼光譜法20110049-T-469 氮化鎵外延片及襯底片通用規(guī)范GB/T 37053-2018 氮化鎵外延片及襯底片通用規(guī)范 硅外延層載流子濃度的檢測(cè) 電容-電壓法20181807-T-469 硅外延層載流子濃度的檢測(cè) 電容-電壓法 氮化鎵單晶襯底片晶面曲率半徑檢測(cè)方法GB/T 32188-2015 氮化鎵單晶襯底片x射線雙晶搖擺曲線半高寬檢測(cè)方法20120268-T-469 氮化鎵單晶襯底片x射線雙晶搖擺曲線半高寬檢測(cè)方法GB/T 14146-2009 硅外延層載流子濃度測(cè)定 汞探針電容-電壓法
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