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標準簡介：本標準規(guī)定了半導體設(shè)施接口技術(shù)文件編寫的基本要求和格式。本標準適用于半導體設(shè)施的設(shè)計、施工、供應(yīng)、管理、培訓及使用。
標準號：GB/T 15873-1995
標準名稱：半導體設(shè)施接口技術(shù)文件編寫導則
英文名稱：Directives for drafting semiconductor facilities interface specification
標準類型：國家標準
標準性質(zhì)：推薦性
標準狀態(tài)：現(xiàn)行
發(fā)布日期：1995-01-02
實施日期：1996-08-01
中國標準分類號（CCS）：電子元器件與信息技術(shù)>>電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備>>L97加工專用設(shè)備
國際標準分類號（ICS）：電子學>>電子電信設(shè)備用機電零部件>>31.220.10插頭和插座裝置、連接器
起草單位：中國華晶電子集團公司
歸口單位：信息產(chǎn)業(yè)部（電子）
發(fā)布單位：國家技術(shù)監(jiān)督局
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