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檢測執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)信息一覽:
標(biāo)準(zhǔn)號:GB/T 36053-2018
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱:
X射線反射法測量薄膜的厚度、密度和界面寬度 儀器要求、準(zhǔn)直和定位、數(shù)據(jù)采集、數(shù)據(jù)分析和報告英文標(biāo)準(zhǔn)名稱
Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry—Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)
現(xiàn)行
主要起草單位
中國計量科學(xué)研究院 。
主要起草人
王海 、王梅玲 、張艾蕊 、宋小平 。
采標(biāo)情況
本標(biāo)準(zhǔn)等同采用ISO標(biāo)準(zhǔn):ISO 16413:2013。
采標(biāo)中文名稱:X射線反射測量法評估薄膜的厚度、密度和界面寬度—儀器要求、準(zhǔn)直和定位、數(shù)據(jù)采集、數(shù)據(jù)分析和報告。
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