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檢測執(zhí)行標準信息一覽：
標準號：GB/T 36053-2018
中文標準名稱：
X射線反射法測量薄膜的厚度、密度和界面寬度 儀器要求、準直和定位、數(shù)據(jù)采集、數(shù)據(jù)分析和報告英文標準名稱
Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry—Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting
標準狀態(tài)
現(xiàn)行
主要起草單位
中國計量科學(xué)研究院 。
主要起草人
王海 、王梅玲 、張艾蕊 、宋小平 。
采標情況
本標準等同采用ISO標準：ISO 16413:2013。
采標中文名稱:X射線反射測量法評估薄膜的厚度、密度和界面寬度—儀器要求、準直和定位、數(shù)據(jù)采集、數(shù)據(jù)分析和報告。
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