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檢測(cè)執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)信息一覽：
標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介：本標(biāo)準(zhǔn)采用適當(dāng)?shù)膯螌雍投鄬幽は祬⒖嘉镔|(zhì)，提供優(yōu)化濺射深度剖析參數(shù)的指南。
標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 20175-2006
標(biāo)準(zhǔn)名稱：表面化學(xué)分析 濺射深度剖析 用層狀膜系為參考物質(zhì)的優(yōu)化方法
英文名稱：Surface chemical analysis-Sputter depth profiling-Optimization using layered systems as reference materials
標(biāo)準(zhǔn)類型：國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)：推薦性
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行
發(fā)布日期：2006-03-27
實(shí)施日期：2006-11-01
中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)（CCS）：儀器、儀表>>光學(xué)儀器>>N33電子光學(xué)與其他物理光學(xué)儀器
國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)（ICS）：化工技術(shù)>>分析化學(xué)>>71.040.40化學(xué)分析
起草單位：清華大學(xué)電子工程系
歸口單位：全國(guó)微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)
發(fā)布單位：國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員.
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