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檢測(cè)執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)信息一覽：
標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了圓形石英玻璃光掩?；宓募夹g(shù)要求、試驗(yàn)方法等內(nèi)容。本標(biāo)準(zhǔn)適用于圓形石英玻璃光掩?；?。
標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 16523-1996
標(biāo)準(zhǔn)名稱：圓形石英玻璃光掩模基板規(guī)范
英文名稱：Specification for round quartz photomask substrates
標(biāo)準(zhǔn)類型：國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)：推薦性
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行
發(fā)布日期：1996-09-09
實(shí)施日期：1997-05-01
中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)（CCS）：電子元器件與信息技術(shù)>>電子設(shè)備專用材料、零件、結(jié)構(gòu)件>>L90電子技術(shù)專用材料
國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)（ICS）：電子學(xué)>>31.200集成電路、微電子學(xué)
起草單位：長(zhǎng)沙韶光微電子總公司
歸口單位：全國(guó)半導(dǎo)體材料和設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)
發(fā)布單位：國(guó)家技術(shù)監(jiān)督局
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