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GB/T20307-2006納米級(jí)長(zhǎng)度的掃描電鏡測(cè)量方法通則

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檢測(cè)執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)信息一覽:

標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介:本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用掃描電鏡測(cè)量納米級(jí)長(zhǎng)度的基本原則。適用于測(cè)量10nm-500nm的點(diǎn)或線的間距。

標(biāo)準(zhǔn)號(hào):GB/T 20307-2006

標(biāo)準(zhǔn)名稱(chēng):納米級(jí)長(zhǎng)度的掃描電鏡測(cè)量方法通則

英文名稱(chēng):General rules for nanometer-scale lengthmeasurement by SEM

標(biāo)準(zhǔn)類(lèi)型:國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì):推薦性

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài):現(xiàn)行

發(fā)布日期:2006-07-19

實(shí)施日期:2007-02-01

中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類(lèi)號(hào)(CCS):儀器、儀表>>光學(xué)儀器>>N33電子光學(xué)與其他物理光學(xué)儀器

國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類(lèi)號(hào)(ICS):計(jì)量學(xué)和測(cè)量、物理現(xiàn)象>>17.040 長(zhǎng)度和角度測(cè)量?成像技術(shù)>>37.020光學(xué)設(shè)備

起草單位:中國(guó)科學(xué)院地質(zhì)與地球物理研究所、同濟(jì)大學(xué),中國(guó)科學(xué)院化學(xué)所,中國(guó)地質(zhì)科學(xué)院礦產(chǎn)資源研究所,上海理工大學(xué)

歸口單位:全國(guó)微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)

發(fā)布單位:國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫.

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