GB/T12964-1996硅單晶拋光片

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標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 12964-1996

標(biāo)準(zhǔn)名稱：硅單晶拋光片

英文名稱：Monocrystalline silicon polished wafers

標(biāo)準(zhǔn)類(lèi)型：國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)：推薦性

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：作廢

發(fā)布日期：1996-11-04

實(shí)施日期：1997-04-01

中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類(lèi)號(hào)（CCS）：冶金>>半金屬與半導(dǎo)體材料>>H82元素半導(dǎo)體材料

國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類(lèi)號(hào)（ICS）：電氣工程>>29.045半導(dǎo)體材料

替代以下標(biāo)準(zhǔn)：GB 12964-1991;被GB/T 12964-2003代替

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