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檢測執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)信息一覽：
標(biāo)準(zhǔn)簡介：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硅單晶拋光片（簡稱硅拋光片）的牌號及分類、要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運輸、貯存、質(zhì)量證明書和訂貨單（或合同）內(nèi)容。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于直拉法、懸浮區(qū)熔法（包括中子嬗變摻雜和氣相摻雜）制備的直徑不大于200mm的硅單晶拋光片。產(chǎn)品主要用于制作集成電路、分立元件、功率器件等，或作為硅外延片的襯底。
標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 12964-2018
標(biāo)準(zhǔn)名稱：硅單晶拋光片
英文名稱：Monocrystalline silicon polished wafers
標(biāo)準(zhǔn)類型：國家標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)：推薦性
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行
發(fā)布日期：2018-09-17
實施日期：2019-06-01
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號（CCS）：冶金>>半金屬與半導(dǎo)體材料>>H82元素半導(dǎo)體材料
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號（ICS）：電氣工程>>29.045半導(dǎo)體材料
替代以下標(biāo)準(zhǔn)：替代GB/T 12964-2003
起草單位：有研半導(dǎo)體材料有限公司、上海合晶硅材料有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、浙江海納半導(dǎo)體有限公司、浙江省硅材料質(zhì)量檢驗中心、有色金屬技術(shù)經(jīng)濟研究院、天津市環(huán)歐半導(dǎo)體材料技術(shù)有限公司
歸口單位：全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC 203)、全
發(fā)布單位：國家市場監(jiān)督管理總局.
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