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檢測執(zhí)行標準信息一覽：
標準簡介：本規(guī)范規(guī)定若干種標準測試圖形，用以對集成電路生產(chǎn)中所用的微圖形設備、計量儀器和工藝進行一致的全面評估和檢測。
標準號：GB/T 16878-1997
標準名稱：用于集成電路制造技術的檢測圖形單元規(guī)范
英文名稱：Specification for metrology pattern cells for integrated circuit manufacture
標準類型：國家標準
標準性質(zhì)：推薦性
標準狀態(tài)：現(xiàn)行
發(fā)布日期：1997-06-20
實施日期：1998-03-01
中國標準分類號（CCS）：電子元器件與信息技術>>電子工業(yè)生產(chǎn)設備>>L97加工專用設備
國際標準分類號（ICS）：電子學>>31.200集成電路、微電子學
起草單位：中國科學院縮微電子中心
歸口單位：全國半導體材料和設備標準化技術委員會
發(fā)布單位：國家技術監(jiān)督局
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