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標準簡介：本準則的范圍是制定有關光掩模缺陷分類用的標準術語，并規(guī)定缺陷大小的表達方法。確定光掩模缺陷時應遵循這個準則。
標準號：GB/T 16880-1997
標準名稱：光掩模缺陷分類和尺寸定義的準則
英文名稱：Guidelines for photomask defect classification and size definition
標準類型：國家標準
標準性質：推薦性
標準狀態(tài)：現(xiàn)行
發(fā)布日期：1997-06-20
實施日期：1998-03-01
中國標準分類號（CCS）：電子元器件與信息技術>>電子工業(yè)生產設備>>L97加工專用設備
國際標準分類號（ICS）：電子學>>31.020電子元件綜合
起草單位：中國科學院微電子中心
歸口單位：全國半導體材料和設備標準化技術委員會
發(fā)布單位：國家技術監(jiān)督局
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