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檢測執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)信息一覽:
標(biāo)準(zhǔn)簡介:本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用液態(tài)和氣態(tài)氮的技術(shù)要求、檢驗(yàn)方法以及包裝、標(biāo)志等,適用于從分離空氣或氨還原法制得的氮,在超大規(guī)模集成電路制造中用作凈化、覆蓋、保護(hù)、加壓,也用于化學(xué)氣相淀積時(shí)的載氣等。
標(biāo)準(zhǔn)號:GB/T 16944-1997
標(biāo)準(zhǔn)名稱:電子工業(yè)用氣體 氮
英文名稱:Gases for electronic industry--Nitrogen
標(biāo)準(zhǔn)類型:國家標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì):推薦性
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài):作廢
發(fā)布日期:1997-08-13
實(shí)施日期:1998-05-01
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號(CCS):化工>>其他化工產(chǎn)品>>G86工業(yè)氣體與化學(xué)氣體
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號(ICS):化工技術(shù)>>化工產(chǎn)品>>71.100.20工業(yè)氣體
替代以下標(biāo)準(zhǔn):被GB/T 16944-2009代替
起草單位:化學(xué)工業(yè)部西南化工研究院
歸口單位:全國半導(dǎo)體材料和設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會
發(fā)布單位:國家技術(shù)監(jiān)督局
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