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標準簡介：本標準規(guī)定了氬的技術(shù)要求,試驗方法以及包裝、標志、貯運及安全。本標準適用于以深冷法從空氣、合成氨尾氣中提取的液態(tài)和氣態(tài)氬以及經(jīng)純化方法得到的氬。氬用于系統(tǒng)的吹掃、保護和增壓,它還可以用于化學汽相淀積、濺射、等離子及活性離子刻蝕劑和退火等不同工藝中。
標準號：GB/T 16945-2009
標準名稱：電子工業(yè)用氣體 氬
英文名稱：Gas for electronic industry—Argon
標準類型：國家標準
標準性質(zhì)：推薦性
標準狀態(tài)：現(xiàn)行
發(fā)布日期：2009-10-30
實施日期：2010-05-01
中國標準分類號（CCS）：化工>>其他化工產(chǎn)品>>G86工業(yè)氣體與化學氣體
國際標準分類號（ICS）：化工技術(shù)>>化工產(chǎn)品>>71.100.20工業(yè)氣體
替代以下標準：替代GB/T 16945-1997
起草單位：北京氦普北分氣體工業(yè)有限公司、西南化工研究設計院
歸口單位：全國半導體材料和設備標準化技術(shù)委員會氣體分會
發(fā)布單位：國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫.
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