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GB/T16945-2009電子工業(yè)用氣體氬

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檢測執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)信息一覽:

標(biāo)準(zhǔn)簡介:本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了氬的技術(shù)要求,試驗方法以及包裝、標(biāo)志、貯運及安全。本標(biāo)準(zhǔn)適用于以深冷法從空氣、合成氨尾氣中提取的液態(tài)和氣態(tài)氬以及經(jīng)純化方法得到的氬。氬用于系統(tǒng)的吹掃、保護和增壓,它還可以用于化學(xué)汽相淀積、濺射、等離子及活性離子刻蝕劑和退火等不同工藝中。

標(biāo)準(zhǔn)號:GB/T 16945-2009

標(biāo)準(zhǔn)名稱:電子工業(yè)用氣體 氬

英文名稱:Gas for electronic industry—Argon

標(biāo)準(zhǔn)類型:國家標(biāo)準(zhǔn)

標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì):推薦性

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài):現(xiàn)行

發(fā)布日期:2009-10-30

實施日期:2010-05-01

中國標(biāo)準(zhǔn)分類號(CCS):化工>>其他化工產(chǎn)品>>G86工業(yè)氣體與化學(xué)氣體

國際標(biāo)準(zhǔn)分類號(ICS):化工技術(shù)>>化工產(chǎn)品>>71.100.20工業(yè)氣體

替代以下標(biāo)準(zhǔn):替代GB/T 16945-1997

起草單位:北京氦普北分氣體工業(yè)有限公司、西南化工研究設(shè)計院

歸口單位:全國半導(dǎo)體材料和設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會氣體分會

發(fā)布單位:國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫.

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