標準簡介：本標準規(guī)定了用安裝在掃描電鏡(SEM)或電子探針(EPMA)上的能譜儀對試樣上特定點或特定區(qū)域進行定量分析的方法。定量分析是指用質量分數(shù)(百分數(shù))表示元素的含量。正確鑒別試樣中所有元素是定量分析中必不可少的組成部分,因此,本標準也包含這方面的內(nèi)容。本標準提供了多種能譜法定量分析方法,本標準適用于利用參考物質或“無標樣”程序對質量分數(shù)高于1%的元素進行定量分析。本標準對原子序數(shù)大于10的元素的分析置信度更高。本標準也規(guī)定了對原子序數(shù)小于11的輕元素的分析方法。注:當沒有重疊峰,并且相應的特征X射線被強烈地激發(fā)時,能譜儀也可以測量質量分數(shù)在0.1%水平的元素。本標準主要應用于表面平整試樣的定量分析,基本方法也適用于表面不平整試樣的分析,但會引入附加的不確定度分量。目前沒有公認的輕元素的準確能譜儀(EDS)定量分析方法,以下是幾種常用于輕元素分析的EDS方法:a) 測量峰面積并對比峰強度。如附錄D中所述的原因,這種方法對輕元素分析結果的不確定度比重元素大。b) 當已知試樣中的輕元素以化學計量的方式與重元素(Z>10)結合時,該輕元素的濃度可以通過與其他元素的相關濃度比進行測定。這種方法通常用于硅酸鹽礦物試樣中氧的測定。c) 通過差值法計算濃度,即用100%減去能夠分析元素的總百分數(shù)即為輕元素的百分數(shù)。這種方法只有在很好的束流穩(wěn)定性和單獨測量至少一個參考樣品的條件下才能夠應用,并且還需要精確測定樣品中的其他元素。附錄D總結了重元素存在時輕元素定量分析中的問題。如果儀器上安裝了能譜儀和波譜儀(WDS),可以用WDS來克服EDS分析中的低能量譜峰重疊問題。

標準號：GB/T 17359-2012

標準名稱：微束分析 能譜法定量分析

英文名稱：Microbeam analysis - Quantitative analysis using energy dispersive spectrometry

標準類型：國家標準

標準性質：推薦性

標準狀態(tài)：現(xiàn)行

發(fā)布日期：2012-07-31

實施日期：2013-02-01

中國標準分類號（CCS）：儀器、儀表>>物質成分分析儀器與環(huán)境監(jiān)測儀器>>N53電化學、熱化學、光學式分析儀器

替代以下標準：替代GB/T 17359-1998

起草單位：核工業(yè)北京地質研究院、中國地質科學院礦產(chǎn)資源研究所。

歸口單位：全國微束分析標準化技術委員會(SAC/TC38)

發(fā)布單位：國家質量監(jiān)督檢驗檢疫.