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GB/T17473.6-2008微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法分辨率測定

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檢測執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)信息一覽:

標(biāo)準(zhǔn)簡介:本標(biāo)準(zhǔn)代替GB/T17473—1998 《厚膜微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法》(所有部分),本標(biāo)準(zhǔn)分為7個(gè)部分,本部分為GB/T17473—2008的第6部分。 本部分規(guī)定了微電子技術(shù)用貴金屬漿料分辨率的測定方法。本部分適用于微電子技術(shù)用貴金屬漿料的分辨率測定。 本部分代替GB/T17473.6—1998 《厚膜微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法 分辨率測定》。本部分與GB/T17473.6—1998相比,主要有如下變動(dòng):———將原標(biāo)準(zhǔn)名稱修改為微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法 分辨率測定;———增加了固化型貴金屬漿料分辨率測定的內(nèi)容;———原“光刻膜絲網(wǎng)網(wǎng)徑20?玻玻鄲蹋? 不銹鋼絲網(wǎng)”改為“光刻膜絲網(wǎng),絲網(wǎng)孔徑不大于54μm”;———增加6.3將印有固化型的試樣按其規(guī)定的工藝要求進(jìn)行靜置、烘干、固化,固化后試樣膜厚控制在1μm~15μm;———分辨率規(guī)格分級重新定義為0.1mm、0.2mm、0.3mm、0.4mm、0.5mm 五個(gè)級別。

標(biāo)準(zhǔn)號:GB/T 17473.6-2008

標(biāo)準(zhǔn)名稱:微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法 分辨率測定

英文名稱:Test methods of precious metal pastes used for microelectronics - Determination of resolution

標(biāo)準(zhǔn)類型:國家標(biāo)準(zhǔn)

標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì):推薦性

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài):現(xiàn)行

發(fā)布日期:2008-03-31

實(shí)施日期:2008-09-01

中國標(biāo)準(zhǔn)分類號(CCS):冶金>>有色金屬及其合金產(chǎn)品>>H68貴金屬及其合金

國際標(biāo)準(zhǔn)分類號(ICS):冶金>>有色金屬>>77.120.99其他有色金屬及其合金

替代以下標(biāo)準(zhǔn):替代GB/T 17473.6-1998

起草單位:貴研鉑業(yè)股份有限公司

歸口單位:全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)

發(fā)布單位:國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫.

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