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檢測執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)信息一覽：
標(biāo)準(zhǔn)簡介：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子材料晶片參考面長度的測量方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于測量各種直徑的硅拋光片、研磨片和切割片的參考面長度。也適用于測量砷化鎵、藍(lán)寶石和釓鎵石榴石等材料晶片的參考面長度。
標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 13387-1992
標(biāo)準(zhǔn)名稱：電子材料晶片參考面長度測量方法
英文名稱：Test method for measuring flat length on slices of electronic materials
標(biāo)準(zhǔn)類型：國家標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)：推薦性
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：作廢
發(fā)布日期：1992-02-19
實施日期：1992-10-01
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號（CCS）：冶金>>金屬理化性能試驗方法>>H21金屬物理性能試驗方法
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號（ICS）：29.040.30
替代以下標(biāo)準(zhǔn)：被GB/T 13387-2009代替
起草單位：北京有色金屬研究總院
歸口單位：全國半導(dǎo)體材料和設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會
發(fā)布單位：國家技術(shù)監(jiān)督局
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