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檢測(cè)執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)信息一覽:
標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介:本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了生長(zhǎng)硅的高純藍(lán)寶石單晶拋光襯底片的技術(shù)要求、測(cè)試方法、檢驗(yàn)規(guī)則。本標(biāo)準(zhǔn)適用于制備半導(dǎo)體器件的生長(zhǎng)硅的高純藍(lán)寶石單晶拋光襯底片。
標(biāo)準(zhǔn)號(hào):GB/T 13843-1992
標(biāo)準(zhǔn)名稱:藍(lán)寶石單晶拋光襯底片
英文名稱:Polished monocrystalline sapphire substrates
標(biāo)準(zhǔn)類型:國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì):推薦性
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài):現(xiàn)行
發(fā)布日期:1992-01-02
實(shí)施日期:1993-08-01
中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)(CCS):電子元器件與信息技術(shù)>>電子設(shè)備專用材料、零件、結(jié)構(gòu)件>>L90電子技術(shù)專用材料
國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)(ICS):29.040.30
替代以下標(biāo)準(zhǔn):廢止公告:國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)公告2017年第31號(hào)
起草單位:天津半導(dǎo)體技術(shù)研究所
歸口單位:全國(guó)半導(dǎo)體材料和設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)
發(fā)布單位:國(guó)家技術(shù)監(jiān)督局
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