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GB/T14015-1992硅--藍(lán)寶石外延片

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檢測執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)信息一覽:

標(biāo)準(zhǔn)簡介:本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了藍(lán)寶石襯底上生長的單晶硅外延片的技術(shù)要求、測試方法、檢驗規(guī)則。本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體器件用藍(lán)寶石襯底上生長的單晶硅外延片。

標(biāo)準(zhǔn)號:GB/T 14015-1992

標(biāo)準(zhǔn)名稱:硅--藍(lán)寶石外延片

英文名稱:Silicon on sapphire epitaxial wafers

標(biāo)準(zhǔn)類型:國家標(biāo)準(zhǔn)

標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì):推薦性

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài):現(xiàn)行

發(fā)布日期:1992-01-02

實施日期:1993-08-01

中國標(biāo)準(zhǔn)分類號(CCS):電子元器件與信息技術(shù)>>電子設(shè)備專用材料、零件、結(jié)構(gòu)件>>L90電子技術(shù)專用材料

國際標(biāo)準(zhǔn)分類號(ICS):29.040.30

起草單位:天津半導(dǎo)體技術(shù)研究所

歸口單位:全國半導(dǎo)體材料和設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會

發(fā)布單位:國家技術(shù)監(jiān)督局

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