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檢測執(zhí)行標準信息一覽：
標準簡介：本標準規(guī)定了藍寶石襯底上生長的單晶硅外延片的技術要求、測試方法、檢驗規(guī)則。本標準適用于半導體器件用藍寶石襯底上生長的單晶硅外延片。
標準號：GB/T 14015-1992
標準名稱：硅--藍寶石外延片
英文名稱：Silicon on sapphire epitaxial wafers
標準類型：國家標準
標準性質：推薦性
標準狀態(tài)：現(xiàn)行
發(fā)布日期：1992-01-02
實施日期：1993-08-01
中國標準分類號（CCS）：電子元器件與信息技術>>電子設備專用材料、零件、結構件>>L90電子技術專用材料
國際標準分類號（ICS）：29.040.30
起草單位：天津半導體技術研究所
歸口單位：全國半導體材料和設備標準化技術委員會
發(fā)布單位：國家技術監(jiān)督局
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