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標準簡介：本標準規(guī)定了瓶裝電子工業(yè)用氣體---三氟化氮的技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則及包裝、標志、運輸、儲存和安全。本標準適用于電子工業(yè)用三氟化氮。它主要用作電子工業(yè)中等離子體工藝等離子體刻蝕劑和化學氣相沉積的清洗劑。
標準號：GB/T 21287-2007
標準名稱：電子工業(yè)用氣體三氟化氮
英文名稱：Gases for electronic industry—Nitrogen trifluoride
標準類型：國家標準
標準性質：推薦性
標準狀態(tài)：作廢
發(fā)布日期：2007-12-14
實施日期：2008-07-01
中國標準分類號（CCS）：化工>>其他化工產品>>G86工業(yè)氣體與化學氣體
國際標準分類號（ICS）：化工技術>>化工產品>>71.100.20工業(yè)氣體
替代以下標準：被GB/T 21287-2021代替
起草單位：湖北沙隆達天門農化有限責任公司、中國船舶重工集團公司第七一八研究所、核工業(yè)理化工程研究院特氣中心、中核紅華特種氣體股份有限公司、黎明化工研究院等
歸口單位：全國半導體材料和設備標準化技術委員會氣體分會(SAC/TC 20
發(fā)布單位：國家質量監(jiān)督檢驗檢疫.
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