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標準簡介：本標準規(guī)定了氯化氫的技術(shù)要求、試驗方法、標志、包裝、貯運及安全。本標準適用于以工業(yè)氯化氫為原料,采用純化制得的氯化氫產(chǎn)品。該產(chǎn)品主要用于微電子工業(yè)中氣相拋光、外延和刻蝕工藝,也可用于硬質(zhì)合金、玻璃表面處理、醫(yī)藥中間體和精細化學(xué)品制造、科學(xué)研究等領(lǐng)域。分子式:HCl。相對分子質(zhì)量:36.458(按2009年國際相對原子質(zhì)量計算)。
標準號：GB/T 14602-2014
標準名稱：電子工業(yè)用氣體 氯化氫
英文名稱：Gases for electronic industry—Hydrogen chloride
標準類型：國家標準
標準性質(zhì)：推薦性
標準狀態(tài)：現(xiàn)行
發(fā)布日期：2014-12-22
實施日期：2015-07-01
國際標準分類號（ICS）：化工技術(shù)>>化工產(chǎn)品>>71.100.20工業(yè)氣體
替代以下標準：替代GB/T 14602-1993;GB/T 24469-2009
起草單位：北京華宇同方化工科技開發(fā)有限公司、西南化工研究設(shè)計院有限公司、佛山市華特氣體有限公司、光明化工研究設(shè)計院有限公司、上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司、上海儀盟科技有限公司
歸口單位：全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標準化技術(shù)委員會(SAC/TC203)
發(fā)布單位：國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫.
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