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標準簡介：本標準規(guī)定了電子工業(yè)用磷化氫的技術(shù)要求,試驗方法以及包裝、標志、貯運及安全。本標準適用于亞磷酸熱分解、磷化物水解、單質(zhì)磷與水或堿反應(yīng)等方法獲得并經(jīng)精制得到的磷化氫產(chǎn)品。它主要用于半導體器件和集成電路生產(chǎn)的外延、離子注入和摻雜。
標準號：GB/T 14851-2009
標準名稱：電子工業(yè)用氣體 磷化氫
英文名稱：Gas for electronic industry—Phosphine
標準類型：國家標準
標準性質(zhì)：推薦性
標準狀態(tài)：現(xiàn)行
發(fā)布日期：2009-10-30
實施日期：2010-05-01
中國標準分類號（CCS）：化工>>其他化工產(chǎn)品>>G86工業(yè)氣體與化學氣體
國際標準分類號（ICS）：化工技術(shù)>>化工產(chǎn)品>>71.100.20工業(yè)氣體
替代以下標準：替代GB/T 14851-1993
起草單位：中國計量科學研究院、西南化工研究設(shè)計院、大連光明化工研究院
歸口單位：全國半導體設(shè)備和材料標準化技術(shù)委員會氣體分技術(shù)委員會
發(fā)布單位：國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫.
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