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標準簡介：本標準規(guī)定了電子級水中微粒的儀器測定方法。本標準適用于電子級水中微粒的連續(xù)式或單次檢測計數(shù)，測定的粒徑大于或等于0.5μm，微粒的濃度為(0～10 000)個/mL。
標準號：GB/T 11446.9-1997
標準名稱：電子級水中微粒的儀器測試方法
英文名稱：Test method for particles in electronic grade water by instrument
標準類型：國家標準
標準性質(zhì)：推薦性
標準狀態(tài)：作廢
發(fā)布日期：1997-09-01
實施日期：1998-09-01
中國標準分類號（CCS）：電子元器件與信息技術>>電子設備專用材料、零件、結(jié)構(gòu)件>>L90電子技術專用材料
國際標準分類號（ICS）：31.030
替代以下標準：GB 11446.9-1989;被GB/T 11446.9-2013代替
起草單位：中國科學院半導體研究所
歸口單位：信息產(chǎn)業(yè)部（電子）
發(fā)布單位：國家技術監(jiān)督局
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