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檢測執(zhí)行標準信息一覽：
標準簡介：本標準規(guī)定了微幾何量的評定基本原則、評定要素、評定程序、評定方法以及評定規(guī)則。本標準適用于企業(yè)、研究機構、檢測機構等從事微機電技術及產(chǎn)品的研究、設計、生產(chǎn)、檢測。
標準號：GB/T 26113-2010
標準名稱：微機電系統(tǒng)（MEMS）技術 微幾何量評定總則
英文名稱：Micro-electromechanical system technology—General rules for the assessment of micro-geometrical parameters
標準類型：國家標準
標準性質：推薦性
標準狀態(tài)：現(xiàn)行
發(fā)布日期：2011-01-10
實施日期：2011-10-01
中國標準分類號（CCS）：電子元器件與信息技術>>微電路>>L55微電路綜合
國際標準分類號（ICS）：電子學>>31.200集成電路、微電子學
起草單位：中機生產(chǎn)力促進中心、西安交通大學、天津大學、中原工學院
歸口單位：全國微機電技術標準化技術委員會(SAC/TC 336)
發(fā)布單位：國家質量監(jiān)督檢驗檢疫.
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