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標準簡介：本標準規(guī)定了采用體硅溶片加工工藝進行MEMS器件加工時應遵循的工藝要求和工藝評價規(guī)范。本標準適用于體硅溶片工藝的加工和質(zhì)量檢驗。
標準號：GB/T 28276-2012
標準名稱：硅基MEMS制造技術(shù) 體硅溶片工藝規(guī)范
英文名稱：Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for dissolved wafer process
標準類型：國家標準
標準性質(zhì)：推薦性
標準狀態(tài)：現(xiàn)行
發(fā)布日期：2012-05-11
實施日期：2012-12-01
中國標準分類號（CCS）：電子元器件與信息技術(shù)>>微電路>>L55微電路綜合
國際標準分類號（ICS）：電子學>>31.200集成電路、微電子學
起草單位：中國電子科技集團第十三研究所、中機生產(chǎn)力促進中心、北京大學、中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所
歸口單位：全國微機電技術(shù)標準化技術(shù)委員會(SAC/TC 336)
發(fā)布單位：國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫.
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