標準簡介：本標準規(guī)定了硅烷氣體的技術要求、試驗方法、標志、包裝、貯運及安全的內(nèi)容。?本標準適用于硅化鎂法、氫化鋁鈉還原四氟化硅法、氯硅烷歧化工藝法制備的電子工業(yè)用硅烷。 它主要用于制作高純多晶硅、二氧化硅的低溫化學氣相淀積、氮化硅化學氣相淀積、多晶硅隔離層、多晶硅歐姆接觸層和異質(zhì)或同質(zhì)硅外延生長原料以及離子注入源和激光介質(zhì)等，還可用于制作太陽能電池、光導纖維和光電傳感器等。?分子式：SiH?4。?相對分子質(zhì)量：32.117（按2011年國際相對原子質(zhì)量）。?

標準號：GB/T 15909-2017

標準名稱：電子工業(yè)用氣體 硅烷

英文名稱：Gas for electronic industry—Silane

標準類型：國家標準

標準性質(zhì)：推薦性

標準狀態(tài)：現(xiàn)行

發(fā)布日期：2017-05-31

實施日期：2017-12-01

中國標準分類號（CCS）：化工>>其他化工產(chǎn)品>>G86工業(yè)氣體與化學氣體

國際標準分類號（ICS）：化工技術>>化工產(chǎn)品>>71.100.20工業(yè)氣體

替代以下標準：替代GB/T 15909-2009

起草單位：西南化工研究設計院有限公司、浙江賽林硅業(yè)有限公司、廣東華特氣體股份有限公司、中昊光明化工研究設計院有限公司、高麥儀器公司、天津長蘆華信化工股份有限公司、大連大特氣體有限公司、上海華愛色譜分析技術有限公司、上海計量測試研究院、化工氣體質(zhì)檢中心等

歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會氣體分技術委員會(SAC/T

發(fā)布單位：國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫.