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檢測執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)信息一覽：
標(biāo)準(zhǔn)編號(hào)：GB/T 6624-2009硅拋光片表面質(zhì)量目測檢驗(yàn)方法
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行
標(biāo)準(zhǔn)簡介：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了在一定光照條件下，用目測檢驗(yàn)單晶拋光片(以下簡稱拋光片)表面質(zhì)量的方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于硅拋光片表面質(zhì)量檢驗(yàn)。外延片表面質(zhì)量目測檢驗(yàn)也可參考本方法進(jìn)行。
英文名稱： Standard method for measuring the surface quality of polished silicon slices by visual inspection
替代情況： 替代GB/T 6624-1995
中標(biāo)分類： 冶金>>半金屬與半導(dǎo)體材料>>H80半金屬與半導(dǎo)體材料綜合
ICS分類： 電氣工程>>29.045半導(dǎo)體材料
發(fā)布部門： 中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局 中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
發(fā)布日期： 2009-10-30
實(shí)施日期： 2010-06-01
*發(fā)日期： 1986-07-26
提出單位： 全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)
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