SJ 2805-1987《電子級氫中痕量氧+氬、氮測定方法 變溫濃縮色譜法》基本信息
標(biāo)準(zhǔn)號:
SJ 2805-1987中文名稱:
《電子級氫中痕量氧+氬、氮測定方法 變溫濃縮色譜法》發(fā)布日期:
1987-04-06實施日期:
1988-01-01發(fā)布部門:
電子工業(yè)部提出單位:
中國電子學(xué)會潔凈技術(shù)學(xué)會起草單位:
電子工業(yè)部標(biāo)準(zhǔn)化研究所中國標(biāo)準(zhǔn)分類號:
A01技術(shù)管理SJ 2805-1987《電子級氫中痕量氧+氬、氮測定方法 變溫濃縮色譜法》介紹
SJ 2805-1987《電子級氫中痕量氧+氬、氮測定方法 變溫濃縮色譜法》是由電子工業(yè)部于1987年4月6日發(fā)布的一項國家標(biāo)準(zhǔn)。該標(biāo)準(zhǔn)的實施日期為1988年1月1日。
一、標(biāo)準(zhǔn)適用范圍
SJ 2805-1987標(biāo)準(zhǔn)適用于電子級氫中痕量氧、氬、氮的測定。電子級氫是一種高純度的氫氣,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、電子器件生產(chǎn)、太陽能電池制造等領(lǐng)域。在這些領(lǐng)域中,氫氣中的雜質(zhì)含量對產(chǎn)品質(zhì)量和性能具有重要影響。因此,準(zhǔn)確測定電子級氫中痕量氧、氬、氮的含量對于提高產(chǎn)品質(zhì)量具有重要意義。
二、標(biāo)準(zhǔn)主要技術(shù)內(nèi)容
1、原理:SJ 2805-1987標(biāo)準(zhǔn)采用變溫濃縮色譜法,通過將電子級氫中的痕量氧、氬、氮與載氣分離,實現(xiàn)對這些雜質(zhì)的定量分析。該方法具有高靈敏度、高分辨率、高穩(wěn)定性等優(yōu)點,適用于痕量雜質(zhì)的檢測。
2、儀器設(shè)備:標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用于變溫濃縮色譜法測定的儀器設(shè)備,包括色譜儀、氣相色譜柱、檢測器、恒溫箱等。同時,對儀器設(shè)備的使用、維護(hù)和校準(zhǔn)提出了具體要求。
3、試劑和材料:標(biāo)準(zhǔn)對用于測定過程中的試劑和材料進(jìn)行了規(guī)定,包括載氣、標(biāo)準(zhǔn)樣品、標(biāo)定溶液等。對試劑的純度、穩(wěn)定性、儲存條件等提出了要求。
4、分析步驟:標(biāo)準(zhǔn)詳細(xì)描述了變溫濃縮色譜法測定電子級氫中痕量氧、氬、氮的分析步驟,包括樣品的采集與處理、儀器的調(diào)試、測定過程、數(shù)據(jù)處理等。對每個步驟的操作要點進(jìn)行了詳細(xì)說明。
5、結(jié)果計算:標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了測定結(jié)果的計算方法,包括雜質(zhì)含量的計算、相對標(biāo)準(zhǔn)偏差的計算等。同時,對結(jié)果的準(zhǔn)確性、重復(fù)性和再現(xiàn)性提出了要求。
6、質(zhì)量控制:標(biāo)準(zhǔn)對測定過程中的質(zhì)量控制提出了要求,包括儀器設(shè)備的校準(zhǔn)、標(biāo)準(zhǔn)樣品的使用、測定過程中的監(jiān)控等。通過質(zhì)量控制措施,確保測定結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。
三、標(biāo)準(zhǔn)實施與監(jiān)督
SJ 2805-1987標(biāo)準(zhǔn)作為一項國家標(biāo)準(zhǔn),對電子級氫中痕量氧、氬、氮的測定具有法律效力。相關(guān)企業(yè)和檢測機(jī)構(gòu)應(yīng)嚴(yán)格按照標(biāo)準(zhǔn)要求進(jìn)行操作,確保測定結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。同時,有關(guān)部門應(yīng)加強(qiáng)對標(biāo)準(zhǔn)實施情況的監(jiān)督檢查,對違反標(biāo)準(zhǔn)的行為進(jìn)行查處。
四、標(biāo)準(zhǔn)修訂與更新
隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展和電子工業(yè)對電子級氫純度要求的不斷提高,SJ 2805-1987標(biāo)準(zhǔn)也需要不斷完善和更新。有關(guān)部門應(yīng)密切關(guān)注國內(nèi)外相關(guān)技術(shù)的發(fā)展動態(tài),及時組織專家對標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行修訂和更新,以適應(yīng)電子工業(yè)的發(fā)展需求。
檢測流程步驟
溫馨提示:以上內(nèi)容僅供參考使用,更多檢測需求請咨詢客服。