GB/T 12962-2015是中國國家標(biāo)準(zhǔn)中關(guān)于硅單晶的規(guī)定。該標(biāo)準(zhǔn)主要包含了硅單晶的定義、術(shù)語、規(guī)格以及物理、化學(xué)、機(jī)械性能等方面的要求。以下是該標(biāo)準(zhǔn)主要規(guī)定的內(nèi)容:
1. 硅單晶的定義和術(shù)語:
硅單晶:指不同類型和尺寸的純度較高的硅晶體。摻雜濃度:硅單晶中摻雜雜質(zhì)的含量。犧牲層:在硅單晶制備過程中為減小硅單晶的厚度而生長的一層硅片。唯一晶向:硅單晶中只存在一個(gè)晶體取向。2. 硅單晶的規(guī)格:
尺寸:硅單晶的直徑、長度、寬度等尺寸的要求。表面狀態(tài):硅單晶表面的平整度、光潔度、無缺陷程度的要求。彎曲度:硅單晶桿的彎曲度要求。3. 硅單晶的物理性能:
晶格常數(shù):硅單晶的晶格常數(shù)和變化范圍。密度:硅單晶的密度和變化范圍。熱膨脹系數(shù):硅單晶的熱膨脹系數(shù)和變化范圍。硬度:硅單晶的硬度和變化范圍。4. 硅單晶的化學(xué)性質(zhì):
電阻率:硅單晶的電阻率和變化范圍。雜質(zhì)含量:硅單晶中各種雜質(zhì)的約束要求。水溶性雜質(zhì):硅單晶中水溶性雜質(zhì)的限制及要求。氣體雜質(zhì):硅單晶中氣體雜質(zhì)的限制及要求?;瘜W(xué)穩(wěn)定性:硅單晶對(duì)酸、堿等化學(xué)物質(zhì)的穩(wěn)定性要求。5. 硅單晶的機(jī)械性能:
抗拉強(qiáng)度:硅單晶在拉伸條件下的抗拉強(qiáng)度和變化范圍??箟簭?qiáng)度:硅單晶在壓縮條件下的抗壓強(qiáng)度和變化范圍。彈性模量:硅單晶的彈性模量和變化范圍。標(biāo)準(zhǔn)還包括了硅單晶的制備方法、加工工藝、檢測(cè)方法等方面的技術(shù)要求。GB/T 12962-2015旨在規(guī)范硅單晶產(chǎn)品的制備和使用,保證其質(zhì)量和性能的穩(wěn)定性,以滿足不同領(lǐng)域的需求。
檢測(cè)流程步驟
溫馨提示:以上內(nèi)容僅供參考使用,更多檢測(cè)需求請(qǐng)咨詢客服。