標準簡介：本標準規(guī)定了硬面光掩模用玻璃基板的要求、試驗方法、檢驗規(guī)則等內容。本標準適用于硬面光掩模用玻璃基板。
標準號：GB/T 15871-1995
標準名稱：硬面光掩?；?/p>
英文名稱：Hard surface photomask substrates
標準類型：國家標準
標準性質：推薦性
標準狀態(tài)：現(xiàn)行
發(fā)布日期：1995-01-02
實施日期：1996-08-01
中國標準分類號（CCS）：電子元器件與信息技術>>電子工業(yè)生產(chǎn)設備>>L97加工專用設備
國際標準分類號（ICS）：31.030
起草單位：長沙韶光微電子總公司
歸口單位：全國半導體材料和設備標準化技術委員會
發(fā)布單位：國家技術監(jiān)督局
檢測流程步驟
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