標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了離子束蝕刻機(jī)的術(shù)語(yǔ)、產(chǎn)品分類、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及包裝、運(yùn)輸、貯存等。本標(biāo)準(zhǔn)適用于物理濺射腐蝕作用的通用離子束蝕刻機(jī)。

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 15861-1995

標(biāo)準(zhǔn)名稱：離子束蝕刻機(jī)通用技術(shù)條件

英文名稱：Generic specification of ion beam etching system

標(biāo)準(zhǔn)類型：國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)：推薦性

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：作廢

發(fā)布日期：1995-01-02

實(shí)施日期：1996-08-01

中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)（CCS）：電子元器件與信息技術(shù)>>電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備>>L97加工專用設(shè)備

國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)（ICS）：電子學(xué)>>31.200集成電路、微電子學(xué)

替代以下標(biāo)準(zhǔn)：被GB/T 15861-2012代替

起草單位：電子部長(zhǎng)沙半導(dǎo)體工藝設(shè)備所

歸口單位：信息產(chǎn)業(yè)部（電子）

發(fā)布單位：國(guó)家技術(shù)監(jiān)督局

檢測(cè)流程步驟

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