標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了離子注入機(jī)的術(shù)語(yǔ)、產(chǎn)品分類、技術(shù)要求、試驗(yàn)、檢驗(yàn)規(guī)則和標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存。本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體工藝用電能離子注入機(jī)。其他離子注入機(jī)亦可參照使用。

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 15862-2012

標(biāo)準(zhǔn)名稱：離子注入機(jī)通用規(guī)范

英文名稱：General specification of ion implantation equipment

標(biāo)準(zhǔn)類型：國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)：推薦性

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行

發(fā)布日期：2012-11-05

實(shí)施日期：2013-02-15

中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)（CCS）：電子元器件與信息技術(shù)>>電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備>>L97加工專用設(shè)備

國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)（ICS）：31-550

替代以下標(biāo)準(zhǔn)：替代GB/T 15862-1995

起草單位：中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所

歸口單位：中國(guó)電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究所

發(fā)布單位：國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫.

檢測(cè)流程步驟

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