GB/T 38446-2020.Micro-electromechanical system technology-Test methods for tensile property measurement of strip thin films.
1范圍
GB/T 38446規(guī)定了帶狀薄膜抗拉性能的試驗(yàn)方法及數(shù)據(jù)處理。
GB/T 38446適用于厚度在50nm到數(shù)微米之間且長(zhǎng)度和厚度的比值大于300的樣品,也可用于MEMS產(chǎn)品帶狀薄膜結(jié)構(gòu)的質(zhì)量監(jiān)控。
2規(guī)范性引用文件
下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其較新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。
GB/T 26111微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)術(shù)語
3術(shù)語和定義
GB/T 26111界定的以及下列術(shù)語和定義適用于本文件。
3.1
彈性模量 modulus of elasticity
材料在彈性變形階段時(shí),應(yīng)力與應(yīng)變的比值。
注:改寫GB/T 3102.3-1993,定義3.18.1。
3.2
屈服強(qiáng)度 yield strength
Re
當(dāng)材料呈現(xiàn)屈服現(xiàn)象時(shí),在試驗(yàn)期間達(dá)到塑性變形發(fā)生而力不增加的應(yīng)力點(diǎn)。
注1:改寫GB/T 228.1-2010,定義3.10.2。
注2:對(duì)于屈服現(xiàn)象明顯的材料,屈服強(qiáng)度就是材料發(fā)生屈服現(xiàn)象時(shí)屈服極限的應(yīng)力;對(duì)于屈服現(xiàn)象不明顯的材料，屈服強(qiáng)度為應(yīng)變達(dá)到殘余應(yīng)變0.2%時(shí)的應(yīng)力。
3.3
抗拉強(qiáng)度 tensile strength
Rm
材料拉斷過程中對(duì)應(yīng)的較大應(yīng)力。
注:改寫GB/T 228.1-2010,定義3.10.1。
3.4
撓度 deflection
w
樣品結(jié)構(gòu)軸線在垂直于軸線方向的線位移或中面在垂直于中面方向的線位移。

檢測(cè)流程步驟

溫馨提示：以上內(nèi)容僅供參考使用，更多檢測(cè)需求請(qǐng)咨詢客服。