GB/T 38783-2020.Method of coating thickness determination for precious metal composites by scanning electron microscope.
1范圍
GB/T 38783規(guī)定了各類貴金屬?gòu)?fù)合材料覆層厚度的掃描電鏡測(cè)量方法。
GB/T 38783適用于10nm~200μum的覆層厚度測(cè)量。
2規(guī)范性引用文件
下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其較新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。
GB/T 13298-2015金屬顯微組織檢驗(yàn)方法
GB/T 16594微米級(jí)長(zhǎng)度的掃描電鏡測(cè)量方法通則
GB/T 17359微束分析能譜法定量分析
GB/T 17722-1999金覆蓋層厚度的掃描電鏡測(cè)量方法
GB/T 20307納米級(jí)長(zhǎng)度的掃描電鏡測(cè)量方法通則
3術(shù)語(yǔ)和定義
下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件。
3.1
聚焦離子束 focused ion beam;FIB
將液態(tài)金屬離子源產(chǎn)生的金屬離子(Ga離子),通過(guò)離子加速、聚焦后形成離子束流。
3.2
雙束電子顯微鏡 dual beam electron microscope
在掃描電子顯微鏡(聚焦電子束)中還安裝了聚焦離子束(FIB)系統(tǒng)的顯微鏡。
3.3
氣體注入系統(tǒng) gas injection system;GIS
在雙束電子顯微鏡中集成的用于儲(chǔ)存和釋放各種類型金屬或非金屬氣體化合物的硬件系統(tǒng)。
注:可以通過(guò)電子束或離子束對(duì)注人氣體進(jìn)行誘導(dǎo)氣相沉積,在樣品表面形成特定金屬或非金屬的保護(hù)層或圖案，也可以使用電子束或離子束對(duì)其進(jìn)行誘導(dǎo)刻蝕以達(dá)到增強(qiáng)刻蝕的目的。
3.4
共焦點(diǎn) beams coincidence
在雙束電子顯微鏡中電子束和離子束焦平面的交點(diǎn),在該高度位置上可同時(shí)實(shí)現(xiàn)離子束的精確加工與電子束的清晰成像。

檢測(cè)流程步驟

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