GB/T 39144-2020.Test method for magnesium content in gallium nitride materials-Secondary ion mass spectrometry.
1范圍
GB/T 39144規(guī)定了氮化鎵材料中鎂含量的二次離子質(zhì)譜測(cè)試方法。
注:氮化鎵材料中的鎂含量以每立方厘米中的原子數(shù)計(jì)。
2規(guī)范性引用文件
下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其較新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。
GB/T 14264半導(dǎo)體材料術(shù)語(yǔ)
GB/T 22461表 面化學(xué)分析詞匯
GB/T 32267分析儀器性能測(cè)定術(shù)語(yǔ)
3術(shù)語(yǔ)和定義
GB/T 14264、GB/T 22461和GB/T 32267界定的術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件。
5干擾因素
5.1 二次離子質(zhì)譜儀存在記憶效應(yīng),若測(cè)試過(guò)鎂含量較高的樣品,儀器樣品室內(nèi)會(huì)殘留高含量鎂,影響鎂含量的測(cè)試結(jié)果。
5.2儀 器型號(hào)不同或者同一儀器的狀態(tài)不同(例如電子倍增器效率、光圈大小、一次束流大小、聚焦?fàn)顟B(tài)等),會(huì)影響本方法的檢出限。
5.3 在樣品架窗口范圍內(nèi)的樣品分析面應(yīng)平整,以保證每個(gè)樣品移動(dòng)到分析位置時(shí),其表面與離子收集光學(xué)系統(tǒng)的傾斜度不變,否則會(huì)降低測(cè)試的準(zhǔn)確度。
5.4樣品表面吸附的鎂離子可能影響鎂含量的測(cè)試結(jié)果。
5.5測(cè)試的準(zhǔn)確度隨著樣品的表面粗糙度增大而顯著降低,應(yīng)通過(guò)對(duì)樣品表面化學(xué)機(jī)械拋光或者化學(xué)腐蝕拋光降低表面粗糙度。
5.6標(biāo)準(zhǔn)樣品中鎂含量的不均勻性會(huì)限制測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確度。
5.7標(biāo)準(zhǔn)樣品中鎂標(biāo)稱含量的偏差會(huì)導(dǎo)致測(cè)試結(jié)果的偏差。

檢測(cè)流程步驟

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