GB/T 39516-2020.Micro nano standard samples( geometric).
1范圍
GB/T 39516規(guī)定了微納米標準樣板(幾何量)的術語和定義、型式與基本參數(shù)、要求、檢查條件、檢查方法、標志、運輸及儲存等。
GB/T 39516適用于線間隔為0.05μm~10μm的微納米線間隔標準樣板、臺階高度為0.01μm~100μm的微納米臺階高度標準樣板、薄膜厚度為2 nm~1 000 nm的納米膜厚標準樣板和線寬為25 nm~1 000 nm的納米線寬標準樣板。
2規(guī)范性引用文件
下列文件對于本文件的應用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其較新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。
GB/T 17163-2008幾何 量測量器具術語基本術語
GB/T 25915.1-2010潔凈室 及相關受控環(huán)境第1部分:空氣潔凈度等級
3術語和定義
GB/T 17163-2008界定的以及下列術語和定義適用于本文件。
3.1
微納米標準樣板(幾何量) micro nano standard samples geometric)
具有微納米級線間隔、臺階高度、薄膜厚度、線寬幾何特征結構的，可用于微納米測量的標準樣板。
3.2
線間隔 pitch
具有微納米級準確度和均勻性、刻線間距P不大于10μm的周期性刻線。以相鄰同側周期性刻線邊緣之間的距離或相鄰周期性刻線幾何結構中心之間的距離表征刻線間隔。
注:線間隔示意圖見圖1所示。
3.3
臺階高度 step height
具有微納米級準確度和均勻性的臺階或溝槽。
3.4
薄膜厚度 film thickness
由硅基底表面和生長層薄膜表面所確定的厚度量值。
注:薄膜厚度定義示意圖見圖3所示。
3.5
線寬 line width
線條兩側平均線邊緣之間的距離。
注:線寬示意圖見圖4所示。

檢測流程步驟

溫馨提示：以上內容僅供參考使用，更多檢測需求請咨詢客服。