GB/T 39158-2020.High purity copper rotatable tube target for flat panel display.
1范圍
GB/T 39158規(guī)定了平面顯示用高純銅旋轉(zhuǎn)管靶的術(shù)語和定義、分類、技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運輸、貯存、質(zhì)量證明書及訂貨單(或合同)內(nèi)容。
GB/T 39158適用于平面顯示用各種規(guī)格的4N、4N5、5N高純銅旋轉(zhuǎn)管靶產(chǎn)品。
2規(guī)范性引用文件
下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其較新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。
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3術(shù)語和定義
下列術(shù)語和定義適用于本文件。
3.1
旋轉(zhuǎn)管靶 rotatable tube target
一種平板顯示領(lǐng)域用的管狀靶材。
注:主要用于電子薄膜沉積。
3.2
表面粗糙度 surface roughness
加工表面具有的較小間距和微小峰谷的不平度。輪廓的平均算術(shù)偏差值Ra,即在一定測量長度l范圍內(nèi),輪廓上各點至中線距離y絕對值的平均算術(shù)偏差。
4分類
產(chǎn)品的牌號按純度分RCu-4N、RCu-4N5、RCu-5N三個牌號。產(chǎn)品的規(guī)格可分為φ155X 438、φ155X888、φ155X1 091、φ155X888、φ167X2 490。 不同牌號對應(yīng)的規(guī)格見表1。
示例:銅含量為99.995%的旋轉(zhuǎn)銅靶,表示為RCu-4N5。

檢測流程步驟

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