檢測(cè)范圍

微電機(jī)器件、半導(dǎo)體器件等。

檢測(cè)項(xiàng)目

共振疲勞檢測(cè)等。

檢測(cè)周期

一般3-15個(gè)工作日出具報(bào)告，可加急。

微電機(jī)器件在生產(chǎn)、使用和研發(fā)等過(guò)程中遇到的共振疲勞等問(wèn)題，研究所檢測(cè)中心可以幫客戶進(jìn)行基于相關(guān)技術(shù)層面的，有效的分析檢測(cè)，提供科學(xué)嚴(yán)謹(jǐn)公正的檢測(cè)數(shù)據(jù)。

參考標(biāo)準(zhǔn)

GB/T 38447-2020 微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù) MEMS結(jié)構(gòu)共振疲勞試驗(yàn)方法

JIS C5630-12-2014 半導(dǎo)體器件.微電機(jī)器件.第12部分:使用MEMS結(jié)構(gòu)共振的薄膜材料的彎曲疲勞檢測(cè)方法

NF C96-050-12-2012 半導(dǎo)體器件 - 微型機(jī)電裝置 - 第12部分: 使用MEMS結(jié)構(gòu)共振的薄膜材料的彎曲疲勞檢測(cè)方法.

IEC 62047-12-2011 半導(dǎo)體器件.微電機(jī)器件.第12部分:使用MEMS結(jié)構(gòu)共振的薄膜材料的彎曲疲勞檢測(cè)方法

檢測(cè)流程步驟

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