有機(jī)異物分析是指針對(duì)產(chǎn)品表面的有機(jī)異物，根據(jù)異物的形態(tài)、檢測(cè)深度及檢測(cè)面積等差異而選用特定的儀器，對(duì)其有機(jī)成分進(jìn)行分析，判定其主成分，從而獲取異物信息的一種分析方法。有機(jī)異物在放大觀察下常常表現(xiàn)出較為透明且性軟等特點(diǎn)。目前有機(jī)異物的分析手段主要有以下幾種：


紅外光譜FTIR有機(jī)物定性；有機(jī)污染物分析能進(jìn)行微區(qū)分析，其顯微鏡測(cè)量孔徑可到8μm或更小，可方便地根據(jù)需要選擇樣品不同部分進(jìn)行分析GB/T 6040-2002

飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜TOF-SIMS有機(jī)材料和無(wú)機(jī)材料的表面微量分析；表面離子成像；深度剖面分析優(yōu)異的摻雜劑和雜質(zhì)檢測(cè)靈敏度，可以檢測(cè)到ppm或更低的濃度；深度剖析具有良好的檢測(cè)限制和深度辨析率；小面積分析ASTM E1078-2009 ASTM E1504-2011 ASTM E1829-2009

動(dòng)態(tài)二次離子質(zhì)譜D-SIMS產(chǎn)品表面微小的異物分析；氧化膜厚度分析；摻雜元素的含量測(cè)定分析區(qū)域小，能分析≥10μm直徑的異物成分；分析深度淺，可測(cè)量≥1nm樣品；檢出限高，一般是ppm——ppb級(jí)別ASTM E1078-2009 ASTM E1504-2011 ASTM E1829-2009。

檢測(cè)流程步驟

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