石英玻璃晶圓檢測一般檢測什么項目?檢測標(biāo)準(zhǔn)有哪些?檢測實驗室可依據(jù)相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)制定試驗方案。對井彎曲度、翹曲度、尺寸偏差、表面粗糙度等項目進(jìn)行檢測分析。并出具嚴(yán)謹(jǐn)公正的石英玻璃晶圓檢測報告。

檢測項目

平整度、彎曲度、翹曲度、尺寸偏差、表面粗糙度、內(nèi)應(yīng)力檢測、條紋檢測、顆粒不均勻性、雜質(zhì)元素含量測試等。

適用范圍

光刻用石英玻璃晶圓等。

相關(guān)檢測標(biāo)準(zhǔn)

GB/T 34177-2017 光刻用石英玻璃晶圓

O?/T 3284-2015石英玻璃化學(xué)成分分析方法

GB/T 5949透明石英玻璃氣泡、氣線試驗方法

GB/T 32189氨化家單晶襯底表面粗糙度的原子力顯微鏡檢驗法

JC/T185光學(xué)石英玻璃

JC/T 655石英玻璃制品內(nèi)應(yīng)力檢驗方法

檢測流程步驟

溫馨提示：以上內(nèi)容僅供參考使用，更多檢測需求請咨詢客服。