硅外延片檢測(cè)什么單位可以做?檢測(cè)項(xiàng)目及標(biāo)準(zhǔn)有哪些?檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室可依據(jù)GB/T 14139-2019 硅外延片等相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)制定試驗(yàn)方案。對(duì)導(dǎo)電類(lèi)型、晶向、電阻率及徑向電阻率變化、厚度及徑向厚度變化等項(xiàng)目進(jìn)行檢測(cè)分析。并出具嚴(yán)謹(jǐn)公正的硅外延片檢測(cè)報(bào)告。

檢測(cè)項(xiàng)目

導(dǎo)電類(lèi)型、晶向、電阻率及徑向電阻率變化、厚度及徑向厚度變化、晶體完整性、表面金屬元素分析、表面質(zhì)量等。

適用范圍

N型硅外延片、P型硅外延片等。

相關(guān)檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)

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檢測(cè)流程步驟

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