項(xiàng)目介紹
芯片開(kāi)封測(cè)試也就是給芯片做外科手術(shù),通過(guò)開(kāi)封我們可以直觀的觀察芯片的內(nèi)部結(jié)構(gòu),開(kāi)封后可以結(jié)合OM分析判斷樣品現(xiàn)狀和可能產(chǎn)生的原因。
開(kāi)封的含義:Decap即開(kāi)封,也稱開(kāi)蓋,開(kāi)帽,指給完整封裝的IC做局部腐蝕,使得IC可以暴露出來(lái),同時(shí)保持芯片功能的完整無(wú)損,保持die,bondpads,bondwires乃至lead不受損傷,為下一步芯片失效分析實(shí)驗(yàn)做準(zhǔn)備,方便觀察或做其他測(cè)試(如FIB,EMMI),Decap后功能正常。
適用范圍
模擬集成芯片、數(shù)字集成芯片、混合信號(hào)集成芯片、雙*芯片和CMOS芯片、信號(hào)處理芯片、功率芯片、直插芯片、表面貼裝芯片、航天級(jí)芯片,汽車(chē)級(jí)芯片,工業(yè)級(jí)芯片、商業(yè)級(jí)芯片等。
開(kāi)封的方法
一般的有化學(xué)(Chemical)開(kāi)封、機(jī)械(Mechanical)開(kāi)封、激光(Laser)開(kāi)封、PlasmaDecap?
開(kāi)封實(shí)驗(yàn)室:Decap實(shí)驗(yàn)室可以處理幾乎所有的IC封裝形式(COB.QFP.DIPSOT等)、打線類(lèi)型(AuCuAg)。高分子的樹(shù)脂體在熱的濃硝酸(98%)或濃硫酸作用下,被腐蝕變成易溶于丙酮的低分子化合物,在超聲作用下,低分子化合物被清洗掉,從而露出芯片表層。
開(kāi)封方法一:在加熱板上加熱,溫度要達(dá)100-150度,將芯片正面方向向上,用吸管吸取少量的發(fā)煙硝酸(濃度>98%)。滴在產(chǎn)品表面,這時(shí)樹(shù)脂表面起化學(xué)反應(yīng),且冒出氣泡,待反應(yīng)稍止再滴,這樣連滴5-10滴后,用鑷子夾住,放入盛有丙酮的燒杯中,在超聲波清洗機(jī)中清洗2-5分鐘后,取出再滴,如此反復(fù),直到露出芯片為止,后必須以干凈的丙酮反復(fù)清洗確保芯片表面無(wú)殘留物。
開(kāi)封方法二:將所有產(chǎn)品一次性放入98%的濃硫酸中煮沸。這種方法對(duì)于量多且只要看芯片是否破裂的情況較合適。缺點(diǎn)是操作較危險(xiǎn)。要掌握要領(lǐng)。
開(kāi)封注意點(diǎn):所有一切操作均應(yīng)在通風(fēng)柜中進(jìn)行,且要戴好防酸手套。產(chǎn)品開(kāi)帽越到后越要少滴酸,勤清洗,以避免過(guò)腐蝕。清洗過(guò)程中注意鑷子勿碰到金絲和芯片表面,以免擦傷芯片和金絲。根據(jù)產(chǎn)品或分析要求有的開(kāi)帽后要露出芯片下面的導(dǎo)電膠,或者第二點(diǎn)。另外,有的情況下要將已開(kāi)帽產(chǎn)品按排重測(cè)。此時(shí)應(yīng)*先放在80倍顯微鏡下觀察芯片上金絲是否斷,塌絲,如無(wú)則用刀片刮去管腳上黑膜后送測(cè)。注意控制開(kāi)帽溫度不要太高。
測(cè)試項(xiàng)目
1.?IC開(kāi)封(正面/背面)QFP、QFN、SOT、TO、DIP、BGA、COB等
2.?樣品減?。ㄌ沾桑饘俪猓?/p>
3.?激光打標(biāo)
開(kāi)封會(huì)用的危險(xiǎn)的化學(xué)試劑,建議經(jīng)驗(yàn)不足的人不要輕易嘗試,可以去有資質(zhì)的第三方實(shí)驗(yàn)室。
分析中常用酸:濃硫酸:這里指98%的濃硫酸,它有強(qiáng)烈的脫水性,吸水性和氧化性。開(kāi)帽時(shí)用來(lái)一次性煮大量的產(chǎn)品,這里利用了它的脫水性和強(qiáng)氧化性。濃鹽酸:指37%(V/V)的鹽酸,有強(qiáng)烈的揮發(fā)性,氧化性。分析中用來(lái)去除芯片上的鋁層。發(fā)煙硝酸:指濃度為98%(V/V)的硝酸。用來(lái)開(kāi)帽。有強(qiáng)烈的揮發(fā)性,氧化性,因溶有NO2而呈紅褐色。王水:指一體積濃硝酸和三體積濃鹽酸的混合物。分析中用來(lái)腐蝕金球,因它腐蝕性很強(qiáng),可腐蝕金。
參考標(biāo)準(zhǔn)
GB/T37720-2019識(shí)別卡金融IC卡芯片技術(shù)要求
?GB/T37045-2018信息技術(shù)生物特征識(shí)別指紋處理芯片技術(shù)要求?
GB/T4937.19-2018半導(dǎo)體器件機(jī)械和氣候試驗(yàn)方法第19部分:芯片剪切強(qiáng)度?
GB/T36613-2018發(fā)光二*管芯片點(diǎn)測(cè)方法?
GB/T36356-2018功率半導(dǎo)體發(fā)光二*管芯片技術(shù)規(guī)范?
GB/T33922-2017MEMS壓阻式壓力敏感芯片性能的圓片級(jí)試驗(yàn)方法?
GB/T33752-2017微陣列芯片用醛基基片?
GB/T28856-2012硅壓阻式壓力敏感芯片?
DB35/T1403-2013照明用多芯片集成封裝LED筒燈?
EIAEIA-763-2002自動(dòng)裝配用裸芯片和芯片級(jí)封裝,使用8mm和12mm載體帶捆扎?
DLADSCC-DWG-01002REVE-20022512型1.5瓦特(MELF)單位陶瓷封裝膠卷芯片固定電阻器
檢測(cè)流程步驟
溫馨提示:以上內(nèi)容僅供參考使用,更多檢測(cè)需求請(qǐng)咨詢客服。