光刻膠成分分析單位測試流程是什么?檢測項目及標準有哪些?檢測實驗室可根據(jù)GOST R 52250-2004 電子工程材料.光刻工藝抗蝕劑.通用規(guī)范等相關標準制定試驗方案。對光刻膠成分分析的分辨率、對比度、敏感度等項目進行檢測分析。并出具嚴謹公正的檢測報告。

檢測項目：

成分分析、有效成分含量、雜質、分辨率、對比度、敏感度、粘滯性黏度、粘附性、抗蝕性、表面張力。

適用范圍

負性光刻膠、正性光刻膠、光聚合型光刻膠、光分解型光刻膠、光交聯(lián)型光刻膠、含硅光刻膠光刻膠等。

相關檢測標準

GB/T 29844-2013 用于先進集成電路光刻工藝綜合評估的圖形規(guī)范

GOST R 52250-2004 電子工程材料.光刻工藝抗蝕劑.通用規(guī)范

AIR FORCE A-A-59404-1999 便攜式液壓油型光刻膠配量器

IPC MI-660 5.3-1984 干電影光刻膠

檢測流程步驟

溫馨提示：以上內(nèi)容僅供參考使用，更多檢測需求請咨詢客服。