氮化鎵檢測哪里可以做?檢測項目及標準有哪些?
檢測項目:
密度檢測、熔點檢測、折射率檢測、相對介電常數(shù)檢測、電子親和能檢測、晶格能檢測、禁帶寬度檢測、電子遷移率檢測等。
適用范圍
氮化鎵外延片、氮化鎵襯底片等。
相關檢測標準
GB/T 39144-2020 氮化鎵材料中鎂含量的測試 二次離子質(zhì)譜法
GB/T 37466-2019 氮化鎵激光剝離設備
GB/T 37053-2018 氮化鎵外延片及襯底片通用規(guī)范
GB/T 36705-2018 氮化鎵襯底片載流子濃度的測試 拉曼光譜法
GB/T 32188-2015 氮化鎵單晶襯底片x射線雙晶搖擺曲線半高寬測試方法
GB/T 30854-2014 LED發(fā)光用氮化鎵基外延片
GB/T 32282-2015 氮化鎵單晶位錯密度的測量 陰*熒光顯微鏡法
GB/T 32189-2015 氮化鎵單晶襯底表面粗糙度的原子力顯微鏡檢驗法
SJ/T 11396-2009 氮化鎵基發(fā)光二*管藍寶石襯底片
相關介紹
以碳化硅、氮化鎵為代表的寬禁帶半導體材料具有高熱導率、高擊穿場強、高飽和電子漂移速率等特點,可以*大滿足新能源汽車電動化、網(wǎng)聯(lián)化、智能化發(fā)展趨勢的要求,對新能源汽車發(fā)展具有重要意義。
檢測流程步驟
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