檢測(cè)范圍:
工業(yè)用硝化纖維素等。
檢測(cè)項(xiàng)目:
三氯氫硅含量、二氯二氫硅含量、四氯化硅含量、氣硅烷聚合物含量、(鋁、磷、鐵、鉻、銅、鋅)總量、(硼、鎵、銦)總量、總碳等。
依據(jù)檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)
GB/T 28654-2018 工業(yè)三氯氫硅
GB/T 30652-2014 硅外延用三氯氫硅
GB/T 29056-2012 硅外延用三氯氫硅化學(xué)分析方法.硼、鋁、磷、釩、鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銅、鉬、砷和銻量的測(cè)定 電感耦合等離子體質(zhì)譜法
YS/T 1059-2015 硅外延用三氯氫硅中總碳的測(cè)定 氣相色譜法
YS/T 1060-2015 硅外延用三氯氫硅中其他氯硅烷含量的測(cè)定 氣相色譜法
HG/T 4683-2014 三氯氫硅泄漏的處理處置方法
DB53/T 501-2013 多晶硅用三氯氫硅雜質(zhì)元素含量測(cè)定 電感耦合等離子體質(zhì)譜法
DB53/T 499-2013 多晶硅用三氯氫硅
DB53/T 500-2013 多晶硅用三氯氫硅組分含量測(cè)定 氣相色譜法
檢測(cè)流程步驟
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